သတ်မှတ်ချက် | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (အဲယားဘက်ထမ်းရထား) |
မော်တာအမျိုးအစား | သုံးဆင့်သံမဲ့မော်တာ | အသံကွိုင်မော်တာ+ |
ဆုံးဖြတ်ချက် | မူရင်း 100nm ဒစ်ဂျစ်တယ်ပမာဏ | 1vpp ကို 5nm အထိ |
မော်တော်ထိုးခြင်း။ | ဆက်တိုက် 60N/peak 210N | ဆက်တိုက် 60N/peak 210N |
အနိမ့်ဆုံး အဆင့်အရွယ်အစား[nm] | 200nm | 100nm |
ခရီးသွား [mm] | 200×200 | 10 |
ထပ်တလဲလဲနိုင်မှု [အမ်] | ±0.3 | |
ရာထူးတိကျမှု [အမ်] | ±1 | ±0.5 |
ချောမွေ့ခြင်း [အမ်] | 10um | 5um |
ဖြောင့်ခြင်း [အမ်] | 1um | 1um |
အမြင့်ဆုံးအမြန်နှုန်း [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
Load Capacity [kg] | 5 ကီလိုဂရမ် (နယူးမတ်အဆက်မပြတ်တွန်းအား ချိန်ခွင်လျှာအလေးချိန်ပါရှိသော Z ဝင်ရိုး) |